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在高分辨电镜观察的基础上,描述了用热化学气相合成法制备的超细 SiC 粉末的组织结构,其颗粒的最外层是暴露于大气后形成的吸附层,次外层是非晶的 SiC,内部是β型 SiC 微晶,微晶组态往往呈环状排布,微晶间易形成孪晶界,也会形成多次微孪晶。颗粒中还保留了非晶和微晶的中间态,在高分辨电镜中表现为旋涡状 SiC 晶格条纹。用高分辨电镜还观察到了 Si 晶体的碳化和 SiC 在 Si 晶体上的外延生长。