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为克服FD-kNN算法的计算量和存储量特别大,PC-kNN主元仅仅能体现过程中线性信息的不足,提出一种基于KPC-kNN的故障诊断方法.在KPCA提取非线性信息后,在核主元空间里应用kNN算法,计算k个最近样本的距离平方和作为统计指标,使用核密度估计方法计算训练空间的控制限.半导体工业实例的实验结果验证了所提方法的有效性.