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电子束聚焦偏转系统中透镜加工误差效应的数值计算
电子束聚焦偏转系统中透镜加工误差效应的数值计算
来源 :电子科学学刊 | 被引量 : 11次 | 上传用户:zhlkf99
【摘 要】
:
本文讨论了由于电磁透镜中电极和极靴加工的误差(孔径椭圆度和端面倾斜)造成电子束系统电子光学性质影响的数值计算问题,包括用有限元法计算具有孔径椭圆度和端面倾斜的透镜中电磁场的分布,电子轨迹方程和像差积分式等。最后给出了用所编制的计算机程序计算的若干个加工误差效应的实例。
【作 者】
:
刘浩宁
朱协卿
【机 构】
:
中国科学院电子学研究所,中国科学院电子学研究所北京,北京
【出 处】
:
电子科学学刊
【发表日期】
:
1990年06期
【关键词】
:
电子束聚焦
偏转系统
透镜加工
Electron optics Processing error effect Disturbed field function
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本文讨论了由于电磁透镜中电极和极靴加工的误差(孔径椭圆度和端面倾斜)造成电子束系统电子光学性质影响的数值计算问题,包括用有限元法计算具有孔径椭圆度和端面倾斜的透镜中电磁场的分布,电子轨迹方程和像差积分式等。最后给出了用所编制的计算机程序计算的若干个加工误差效应的实例。
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