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侧重研究了入射Ａｒ＋离子不同剂量轰击时表面微形貌和溅射原子角分布之间的关联，并建议用“元素按靶点表面微形貌特征局域富集模型”来解释溅射原子角分布形状以及择优溅射曲线的变化；发现其结果与实验相符合。
Cu—37at%Ag共晶合金的离子溅射研究
【摘 要】
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侧重研究了入射Ａｒ＋离子不同剂量轰击时表面微形貌和溅射原子角分布之间的关联，并建议用“元素按靶点表面微形貌特征局域富集模型”来解释溅射原子角分布形状以及择优溅射曲线的变
【机 构】
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中国科学院腐蚀科学开放研究实验室,中国科学院上海原子核研究所,杭州大学
【出 处】
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核技术
【发表日期】
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1994年8期
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