脉冲中子辐照在硅中引起缺陷的研究

来源 :固体电子学研究与进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jiansilang2006
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研究了脉冲中子辐射的中子嬗变掺杂(NTD)硅二极管中缺陷的形成及其退火特征,并与热中子辐照样品进行了比较,深能级瞬态谱仪(DLTS)测量表明硅中主要存在五类电活性缺陷:氧空位E1(Ec-0.19eV),不同民态的双空位E2(3c-0.2eV)和E4(Ec-0.40eV),双空位与氧杂质相结合的络合物E3(Ec-0.31eV),以及与样品材料原生缺陷有关的辐照 感生缺陷E5(Ec-0.48eV) ,实验结果表明,脉冲中子辐射由于其主贩中子能量和辐照剂量率,导致复杂络合物的浓度高于简单缺陷浓度,进一步400℃
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