RF-PCVD法制备条件对纳米TiO2微晶的影响

来源 :钛工业进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户：lvchao222

【摘要】

：

采用高频等离子体化学气相沉积法(RF-PCVD)法,以TiCl4 + O2为反应体系,制备出了纳米级的TiO2粉体.TEM、XRD等结果表明,颗粒基本呈球形,粒径小于100 nm.从模拟结果和实验结果

【作者】

：

展红全孙彦平徐海萍王俊文

【机构】

：

太原理工大学化工学院

【出处】

：

钛工业进展

【发表日期】

：

2004年5期

【关键词】

：

制备条件纳米级纳米TIO2 粉体停留时间粒径晶型 RF 影响含量 radio frequency-plasma chemical vapor de

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采用高频等离子体化学气相沉积法(RF-PCVD)法,以TiCl4 + O2为反应体系,制备出了纳米级的TiO2粉体.TEM、XRD等结果表明,颗粒基本呈球形,粒径小于100 nm.从模拟结果和实验结果可以看出:随着汽化温度升高,停留时间延长,二氧化钛颗粒粒度逐渐增大,同时金红石含量也增加.加入AlCl3晶型转化剂,有助于锐钛相向金红石相转化.

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