【摘 要】
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用铟柱进行探测器芯片与读出电路（ROIC）之间的电气和机械连接是混合红外焦平面列阵（FPA）最常用的互连方式之一。根据现有的工艺设备和实验条件对在64×64ROIC上生长铟柱进行
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用铟柱进行探测器芯片与读出电路（ROIC）之间的电气和机械连接是混合红外焦平面列阵（FPA）最常用的互连方式之一。根据现有的工艺设备和实验条件对在64×64ROIC上生长铟柱进行了优化工艺设计，并分析讨论了工艺过程及参数对生长铟柱质量的影响。通过工艺实践验证，在65×64ROIC上生长的铟柱能够基本满足FPA器件倒焊互连要求。
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