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简要介绍了利用等离子体刻蚀技术制作背面接点的离子敏场效应管和马赫－增德干涉仪式压力传感器的方法。
微机械加工技术—等离子体刻蚀
【摘 要】
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简要介绍了利用等离子体刻蚀技术制作背面接点的离子敏场效应管和马赫－增德干涉仪式压力传感器的方法。
【机 构】
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东北传感技术研究所
【出 处】
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传感器技术
【发表日期】
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1997年4期
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