论文部分内容阅读
采用热压工艺制备-系列CoAlO的靶材,在Gatan682型PECS+RIBE系统上,于25℃下Ar气氛中沉积到Si(100)衬底基片上,得到颗粒膜.测量了电阻和磁电阻性质,用透射电子显微镜测量样品的面内晶粒尺寸CoAlO薄膜的化学组成,用x射线光电子能谱仪测量.研究了化学组成对CoAlO颗粒膜隧道磁电阻效应的影响.结果表明,得到的颗粒膜是由2~3nm的C0氧化物分布在AlOx母相中,在室温下可显示磁性,通过ALOx阻挡层具有比较大的隧道磁电阻效应(达-6%);随温度升高,化学组成对隧道磁电阻影响更大.