带抗晕结构的内线转移CCD摄像传感器

来源 :半导体光电 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jerry_ic
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研究发展了一种带有新的抗晕结构的内线CCD摄像传感器,这是一种2/3吋,有380(H))×490(V)元的传感器。采用在光电二极管的下面(不是旁边)设置垂直溢出漏的方法抑制发晕,而光灵敏度和动态范围并不受损失。对于10%的顶部垂直照射,拖尾信号降至光照信号的0.05%。在适当的工作条件下,好的平衡性能,即:大动态范围(72dB),低的随机噪声(每电荷包65个均方根噪声电子)在水平和垂直方向上高对比度的传输函数(功能)和类似于发光效率曲线的光谱响应,都能得到。 An internal CCD camera sensor with a new anti-corona structure has been developed, which is a 2/3 "sensor with 380 (H) × 490 (V) elements. Using a method of setting the vertical overflow drain below (not beside) the photodiode suppresses dimming and the light sensitivity and dynamic range are not compromised. For 10% of the top vertical illumination, the tailing signal is reduced to 0.05% of the illumination signal. Good balance performance under proper operating conditions, ie high dynamic range (72dB), low random noise (65 rms electrons per charge) High contrast transfer function in horizontal and vertical direction (function ) And similar to the luminous efficiency curve of the spectral response, can be obtained.
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