【摘 要】
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为了使RF离子源具有良好的引出特性,测试了吸极几何参数、振荡器板压、引出电压对离子源引出特性的影响,对实验结果进行了分析．在其他参数不变的情况下,存在最佳的D/d；增加D/d,
【机 构】
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郑州大学物理工程学院; 郑州大学物理工程学院 郑州 450052; 郑州 450052;
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为了使RF离子源具有良好的引出特性,测试了吸极几何参数、振荡器板压、引出电压对离子源引出特性的影响,对实验结果进行了分析．在其他参数不变的情况下,存在最佳的D/d；增加D/d,有利于过聚焦的离子束恢复聚焦状态．b/D增大时,聚焦度上升,引出束流下降．B/d减小时,聚焦度增大；当B/d小于4时,聚焦度增加趋势变缓．综合考虑聚焦度、引出束流和气压,D/d,b/D,B/d适宜的选择范围分别为1．6—2．1,0．7—1．1,4—7．改变引出电压和振荡器功率对离子源性能的影响具有相反的方向,两者都存在最佳工作点．
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