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用激光散射法非接触在线检测表面粗糙度
用激光散射法非接触在线检测表面粗糙度
来源 :工具技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:pittashen
【摘 要】
:
介绍了基于光散射原理的激光测量装置非接触在线检测表面粗糙度的测量原理及测量头设计方案.调制光源、双光束、与测量光路同轴的高压喷气流、窄带滤波电路等设计可提高信噪
【作 者】
:
邱瑜
秦龚龙
王世华
【机 构】
:
四川大学,成都610065
【出 处】
:
工具技术
【发表日期】
:
2000年4期
【关键词】
:
表面粗糙度
在线检测
光散射
半导体激光器
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介绍了基于光散射原理的激光测量装置非接触在线检测表面粗糙度的测量原理及测量头设计方案.调制光源、双光束、与测量光路同轴的高压喷气流、窄带滤波电路等设计可提高信噪比,增强抗干扰能力,可实现Ra2~100nm的表面粗糙度在线检测.
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