【摘 要】
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普通的厚膜组件已不能满足在军事与空间领域大量专用集成电路封装要求。通常，ＡＳＩＣ芯片是为高频设计的，具有较高的热损耗，有较多的输入／输出线，从而要求高密度互连，为了鉴别出可能采用的
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普通的厚膜组件已不能满足在军事与空间领域大量专用集成电路封装要求。通常，ＡＳＩＣ芯片是为高频设计的，具有较高的热损耗，有较多的输入／输出线，从而要求高密度互连，为了鉴别出可能采用的方案，研究了几种ＭＣＭ技术，并进行了比较，模拟和测试的结果显示，一种新工艺可提供可靠性和较好的成本效果，取代先进的薄膜聚酰亚胺多层或硅－硅互连。本文将讨论一种新的封装工序，概括介绍高密度（０．１２７ｍｍ￣０．２５４ｍｍ）
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