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本发明的技术方案是：一种提纯五氟化碘的工艺方法。其包括以下步骤：（1）抽空蒸发器压力为-0．10～0．08MPa；（2）将五氟化碘原料加入到蒸发器中；（3）加热蒸发器，控制蒸发器温度为30。60℃，五氟化碘中的轻组分杂质如N2、O2、HF等被气化分离出来；（4）控制蒸发器温度为90-130℃．蒸发器内的五氟化碘被气化．