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微纳米超精密测量是目前热点研究领域,光纤布拉格光栅作为良好的传感元件,用于微纳米测量领域具有广阔前景。首先对光纤布拉格光栅传感的基本原理进行了分析,在此基础上,采用布拉格光纤光栅熔制悬挂式探针测头作为传感元件,利用匹配法进行波长解调,然后设计一整套系统,以实现微位移量测量。利用激光干涉仪和PI微动平台对系统性能进行标定,并利用广义多项式对测量数据进行拟合。实验结果显示:系统分辨率达到10 nm,曲线拟合优度为0.999 6。