长轨迹面形测量仪的设计

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为非接触到测量同步辐射柱面反射镜的表面形状,倾斜误差和曲率,设计了一个长轨迹面形测量仪,该光学系统以具有大景深锥光束干涉仪的原理为基础,光学系统关键特性是零程差光束分束器,它把激光束分成共线的可变分离的探测光束。用线阵列探测器记录图像的干条纹,并分析条纹定位与扫描位置的函数关系,使能再表面形状,光学头安装在一个滑动的空气轴承座上,能测量38in长非球面光学零件,这是在同步辐射(SR)应用中常遇到的
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