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期刊论文
硅微机械陀螺的接口检测技术
硅微机械陀螺的接口检测技术
来源 :传感器技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jshajhb1
【摘 要】
:
研究了微陀螺的电容变化率为10^-7 ̄10^-8时的微弱输出信号的检测技术,这是微机械器件研制中具有普遍性的技术难点,在研究检测微小电容变化量的积分电路的基础上,进一步采用了可抑制低频噪声
【作 者】
:
李万玉
阮爱武
【机 构】
:
航空工业总公司第618研究所,西北工业大学自动控制系
【出 处】
:
传感器技术
【发表日期】
:
1999年3期
【关键词】
:
微机械陀螺
寄生电容
积分电路
硅
接口检测技术
Micromachined gyroscopesParasiticcapacitorsIntegratorCh
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研究了微陀螺的电容变化率为10^-7 ̄10^-8时的微弱输出信号的检测技术,这是微机械器件研制中具有普遍性的技术难点,在研究检测微小电容变化量的积分电路的基础上,进一步采用了可抑制低频噪声和漂移的相关双采样技术,以及抑制由开关的电荷注入引起的误差的技术。
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