4H-SiC trench MOSFET with an integrated Schottky barrier diode and L-shaped P~+shielding region

来源 :半导体学报:英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:alanlee75
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A novel 4H-SiC trench MOSFET is presented and investigated by simulation in this paper.The device features an integrated Schottky barrier diode and an L-shaped P~+shielding region beneath the gate trench and aside one wall of the gate trench(S-TMOS).The i
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