PZY铁电薄膜材料的ECR等离子体刻蚀研究

来源 :西安电子科技大学学报（自然科学版） | 被引量 : 0次 | 上传用户：qwedddessf

【摘要】

：

以SF6和SF6+Ar为刻蚀气体,采用电子回旋共振等离子体刻蚀工艺成功地对溶胶-凝胶工艺制备的锆钛酸铅铁电薄膜进行了有效的刻蚀去除.研究了不同气体总流量、混合比、微波功率等

【作者】

：

娄利飞肖斌汪家友杨银堂李跃进

【机构】

：

西安电子科技大学,宽禁带半导体材料与器件教育部重点实验室,陕西,西安,710071

【出处】

：

西安电子科技大学学报（自然科学版）

【发表日期】

：

2005年4期

【关键词】

：

电子回旋共振等离子体刻蚀锆钛酸铅凝胶-溶胶工艺

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以SF6和SF6+Ar为刻蚀气体,采用电子回旋共振等离子体刻蚀工艺成功地对溶胶-凝胶工艺制备的锆钛酸铅铁电薄膜进行了有效的刻蚀去除.研究了不同气体总流量、混合比、微波功率等因素对刻蚀速率的影响,指出当气体混合比约为20%时,刻蚀速率达到最大值.锆钛酸铅铁电薄膜表面组份xPS能谱分析曲线表明,在SF6和SF6+Ar气体中,被刻蚀后样品的Pb含量大大减少,TiO2的刻蚀是限制锆钛酸铅铁电薄膜刻蚀速率的主要因素.

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