电感耦合高频放电等离子体特性测试

来源 :西北大学学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:judy5752
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利用Langmuir双探针测试方法对高频放电等离子体的参数进行了详尽测试,得出了等离子体参数随放电空间位置、气体种类等条件变化的规律,并对测试结果做了理论分析。
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