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小模数渐开线圆柱齿轮，因其尺寸微小而给其齿廓测量带来了一定的困难，使用CCD测量机的光学测头，利用坐标法测量，无疑是上佳的选择。事实上，在被测的坐标点中，引人了齿厚偏差，而且，实测坐标偏误差中还会混入齿距偏差。本文分析了各种偏差和齿形误差的关系，找到了将各种偏差有效分离并分别评定的正确方法。通过试验件的测试比较，该方法得到了验证。