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纳米科学技术是具有广阔应用前景的面向２１世纪的一门新技术，广泛涉及到材料科学，机械学，电子学等各个领域。通过介绍纳米科学技术的缺点及其在现代微传感器上的应用现状的同时，重点分析国外几种典型现代微传感器的结构方案和工作原理，并对现代微传感器的几种制作技术作了比较详细的分析。
纳米技术与现代传感器
【摘 要】
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纳米科学技术是具有广阔应用前景的面向２１世纪的一门新技术，广泛涉及到材料科学，机械学，电子学等各个领域。通过介绍纳米科学技术的缺点及其在现代微传感器上的应用现状的同时，重点
【机 构】
：
电子机械工程系
【出 处】
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桂林电子工业学院学报
【发表日期】
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1998年1期
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