【摘 要】
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介绍了弯曲电弧磁过滤设备，并利用脉冲磁过滤阴极真空电弧沉积技术，在高速钢基体上制备了DLC膜。对制得的DLC薄膜表面形貌、Raman光谱及纳米硬度和弹性模量等进行了测试。结果
【机 构】
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北京航空航天大学机械工程及自动化学院
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介绍了弯曲电弧磁过滤设备，并利用脉冲磁过滤阴极真空电弧沉积技术，在高速钢基体上制备了DLC膜。对制得的DLC薄膜表面形貌、Raman光谱及纳米硬度和弹性模量等进行了测试。结果表明，脉冲磁过滤阴极电弧法制备的DLC膜具有优良的性能。拉曼光谱分析显示，制得的薄膜为非晶结构，具有明显的sp^2和sp^3键杂化结构，符合DLC膜的特征，基体负偏压为50V时，沉积的DLC膜Raman光谱的ID／IG值最小，sp^3键含量最高，纳米硬度和弹性模量值达到最高，分别为29．94GPa和333．9GPa。
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