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简要介绍了激光扫描声光学显微镜，机械扫描声学显微镜，Ｃ模型扫描声学显微镜的工作原理、结构和特性，并对在电子工业中的应用进行了讨论。
声显微成像
【摘 要】
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简要介绍了激光扫描声光学显微镜，机械扫描声学显微镜，Ｃ模型扫描声学显微镜的工作原理、结构和特性，并对在电子工业中的应用进行了讨论。
【机 构】
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电子科技大学光电子技术系
【出 处】
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压电与声光
【发表日期】
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1996年4期
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