【摘 要】
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这个红外成象器件是由一个InSb光电探测阵列和一个Si场效应晶体管(FET)开关阵列所组成。在Si薄片的上部,InSb形成一层薄片,每个InSb探测元和一个相应于Si开关元件下面的铟柱
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这个红外成象器件是由一个InSb光电探测阵列和一个Si场效应晶体管(FET)开关阵列所组成。在Si薄片的上部,InSb形成一层薄片,每个InSb探测元和一个相应于Si开关元件下面的铟柱相连。如同128×128元阵列的FET开关一样,依次读出128×128元阵列光电探测
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