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硅衬底上外延CVD金刚石膜界面原子排列直接观察
硅衬底上外延CVD金刚石膜界面原子排列直接观察
来源 :电子显微学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:HYP0214
【摘 要】
:
硅衬底上外延CVD金刚石膜界面原子排列直接观察尤力平*高巧君(*北京大学电镜室,北京大学物理系,北京100871)CVD金刚石膜作为新型功能材料以其独特的优异性能引起材料工作者极大的兴趣。近年来,异
【作 者】
:
尤力平
高巧君
【机 构】
:
北京大学电镜室,北京大学物理系
【出 处】
:
电子显微学报
【发表日期】
:
1996年6期
【关键词】
:
金刚石膜
硅
衬底
界石
异质外延
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硅衬底上外延CVD金刚石膜界面原子排列直接观察尤力平*高巧君(*北京大学电镜室,北京大学物理系,北京100871)CVD金刚石膜作为新型功能材料以其独特的优异性能引起材料工作者极大的兴趣。近年来,异质外延CVD金刚石单晶是国内外研究的热点之一,这是因...
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