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递进式拟合方法对椭偏测量中薄膜参数精确度的研究

来源 :曲阜师范大学学报：自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：hhmlyj

【摘 要】

：

采用电子束蒸镀法制备SiO2及TiO2光学薄膜．利用法国产Jobin Yvon UVISEL相调制型椭圆偏振光谱仪作为测试手段，选用适当的色散公式建立物理模型，采用递进式拟合方法，对两种光学薄

【作 者】

：

洪芳 吴福全 郝殿中 张霞 高中扬 邵俊平 

【机 构】

：

曲阜师范大学激光研究所,山东省桓台第一中学

【出 处】

：

曲阜师范大学学报：自然科学版

【发表日期】

：

2010年1期

【关键词】

：

薄膜光学 椭圆偏振法 递进式拟合 光学常数 film optics ellipsometry progressive fitting optical con 

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采用电子束蒸镀法制备SiO2及TiO2光学薄膜．利用法国产Jobin Yvon UVISEL相调制型椭圆偏振光谱仪作为测试手段，选用适当的色散公式建立物理模型，采用递进式拟合方法，对两种光学薄膜的光学常数及厚度进行了拟合，结果表明：该拟合方法使得衡量拟合结果的均方误差χ2越来越小，获得的薄膜的光学常数及厚度更准确．

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