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软X光激光In衰减膜的制备及测量
软X光激光In衰减膜的制备及测量
来源 :同济大学学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wanfan001
【摘 要】
:
通过对制备工艺的摸索,制备出用于软X光激光实验的In衰减膜;利用α能谱测厚仪对In衰减膜的质量厚度进行了测量;通过俄歇电子谱并结合Ar离子刻蚀对In膜表面氧化及氧元素质量分烽的深度分布
【作 者】
:
顾牡
汤学峰
【机 构】
:
同济大学玻耳固体物理研究所
【出 处】
:
同济大学学报:自然科学版
【发表日期】
:
2000年3期
【关键词】
:
俄歇电子谱
软X光激光
铟衰减膜
厚度测量
制备
In attenuation foil
α energy spectrum mass thickness a
【基金项目】
:
青年激光技术基金资助项目 ,国家 86 3基金资助项目
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通过对制备工艺的摸索,制备出用于软X光激光实验的In衰减膜;利用α能谱测厚仪对In衰减膜的质量厚度进行了测量;通过俄歇电子谱并结合Ar离子刻蚀对In膜表面氧化及氧元素质量分烽的深度分布进行了分析。
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