软X光激光In衰减膜的制备及测量

来源 :同济大学学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wanfan001
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通过对制备工艺的摸索,制备出用于软X光激光实验的In衰减膜;利用α能谱测厚仪对In衰减膜的质量厚度进行了测量;通过俄歇电子谱并结合Ar离子刻蚀对In膜表面氧化及氧元素质量分烽的深度分布进行了分析。
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