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介绍了一种强度调制型光纤气体传感器，它采用光通信用多模光纤，利用ＩＣ工艺中的光刻和化学腐蚀等技术，在硅片上出传感器的整体结构，这种传感器的结构简单，测量方便，重复性好，成本低，有深入研究的价值。
光纤气体传感器的研究
【摘 要】
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介绍了一种强度调制型光纤气体传感器，它采用光通信用多模光纤，利用ＩＣ工艺中的光刻和化学腐蚀等技术，在硅片上出传感器的整体结构，这种传感器的结构简单，测量方便，重复性好，成本低，有深
【机 构】
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大连理工大学电子系
【出 处】
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传感技术学报
【发表日期】
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1998年3期
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