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本文介绍了正方形膜片微压传感器的结构,分析了其设计思想。并就利用正方形膜片开发的微压传感器的灵敏度作了分析,与同尺寸的圆形膜片比较其灵敏度提高了20%。最后较详细的讨论了微压传感器研制中关键问题——各向异性腐蚀技术。更多还原
正方形膜片微压传感器设计分析及各向异性腐蚀技术
【摘 要】
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本文介绍了正方形膜片微压传感器的结构,分析了其设计思想。并就利用正方形膜片开发的微压传感器的灵敏度作了分析,与同尺寸的圆形膜片比较其灵敏度提高了20%。最后较详细的
【机 构】
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辽宁大学,辽宁大学
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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1991年1期
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