【摘 要】
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该文设计制作了一种基于磁致伸缩效应的声表面波（SAW）电流传感器,采用了磁致伸缩铁钴合金（FeCo）薄膜,并对其性能进行实验研究。传感器采用双通道300 MHz声表面波延迟线型振荡器结
【机 构】
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国家电网公司中国电力科学研究院,中国科学院声学研究所
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该文设计制作了一种基于磁致伸缩效应的声表面波（SAW）电流传感器,采用了磁致伸缩铁钴合金（FeCo）薄膜,并对其性能进行实验研究。传感器采用双通道300 MHz声表面波延迟线型振荡器结构,以128°YXLiNbO_3为压电基片,在其表面覆盖与其温度系数极性相反的SiO_2薄膜来改善器件温度稳定性,并在声传播路径上溅射FeCo薄膜用以感知电流量。在电流产生磁场作用下,FeCo薄膜发生磁致伸缩应变,导致声传播速度的变化,进而以振荡器频率信号的改变来表征待测电流。该文通过对不同FeCo膜厚及不同FeC
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