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溶胶—凝胶工艺对PZT铁电薄膜结构的影响
溶胶—凝胶工艺对PZT铁电薄膜结构的影响
来源 :压电与声光 | 被引量 : 0次 | 上传用户:chunya88
【摘 要】
:
本文阐述了用溶胶一凝胶法制备锆钛酸铅(PZT)铁电薄膜的工艺参数对薄膜结构的影响。实验表明,采用合适的工艺参数能制备出具有钙钛矿型结构的PZT铁电薄膜。
【作 者】
:
何恩培
刘梅冬
【机 构】
:
华中理工大学固体电子学系
【出 处】
:
压电与声光
【发表日期】
:
1994年5期
【关键词】
:
溶胶-凝胶工艺
铁电薄膜
锆钛酸铅
PZT
sol-Gel process
ferroelectric thin film
PZT
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本文阐述了用溶胶一凝胶法制备锆钛酸铅(PZT)铁电薄膜的工艺参数对薄膜结构的影响。实验表明,采用合适的工艺参数能制备出具有钙钛矿型结构的PZT铁电薄膜。
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