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采用溶胶-凝胶法,以正硅酸乙酯（TEOS）为前驱体、聚丙烯酸（PAA）为增孔剂制备大孔径SiO2薄膜,研究了PAA添加量对薄膜孔径的影响、烧结温度与薄膜孔径及晶相转化之间的关系。通过热重分析仪（TG-DTG）、氮气吸附-脱附法、X射线衍射仪（XRD）、原子力显微镜（AFM）、红外光谱仪（IR）对样品性能进行表征。结果表明,随着PAA添加量的增多,孔径随之增大,当添加量达到15%（体积分数）时,薄膜表面出现裂纹;随着烧结温度的升高,SiO2晶相发生转变及PAA完全炭化使得薄膜孔径增大。实验确定,PAA最佳加