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本文介绍了几种光CVD试验装置,总结了光CVD原理以及光CVD技术在半导体工艺中的应用。
用于半导体工艺中的光CVD技术
【摘 要】
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本文介绍了几种光CVD试验装置,总结了光CVD原理以及光CVD技术在半导体工艺中的应用。
【机 构】
：
西北电讯工程学院,
【出 处】
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微电子学与计算机
【发表日期】
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1988年02期
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