【摘 要】
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在评价红外探测器列阵性能时要解决的主要问题之一是如何确定列阵单元的实际灵敏面面积。它包括两个部分(图1):由扩散或注入单元规定的单元区和单元的外围区。在这外围区域
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在评价红外探测器列阵性能时要解决的主要问题之一是如何确定列阵单元的实际灵敏面面积。它包括两个部分(图1):由扩散或注入单元规定的单元区和单元的外围区。在这外围区域内产生的光生载流子都会被收集在单元内。单元外围区的范围难以确定,它是可变化的,制作探测器元件的工艺过程中有细微的变化,都会影响它发生变化。
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