溶胶—凝胶制备二氧化硅薄膜的开裂问题研究

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为制备微晶玻璃增强用二氧化硅薄膜,采用溶胶-凝胶工艺(SOL-GEL)在普通钠钙硅玻璃基片上做了预试,对过程中薄膜的开裂问题进行了详细的分析和研究。结果表明:溶胶的组成与凝胶干燥和热处理过程中的应力不均是开裂的主要原因。借助差热分析(DTA)、红外吸收光谱分析(IR)、高倍光学显微镜等分析测试手段,通过调整原料配比、控制干燥过程的相对湿度和调节热处理过程中的升温试手段,通过调整原料配比、控制干燥过
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