Effect of hydrogen on SiC-C films with AES and XPS analyses

来源 :核技术：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：virusniper

【摘要】

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SiC-C films with different content of SiC were deposited with r. f. magnetron sputtering followed by argon ion bombardment. These films were then permeated by h

【作者】

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HUANG Ning-kang YANG Bin 等

【机构】

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KeyLab.forRadiationPhysicsandTechnologyofEducationMinistryofChina,KeyLab.forRadiationPhysicsandTechn

【出处】

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核技术：英文版

【发表日期】

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2003年1期

【关键词】

：

碳化硅-碳薄膜 AES XPS 氢气化学键 X射线光电子能谱 SiC-C films Hydrogen permeation XPS AES

【基金项目】

：

国家自然科学基金

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SiC-C films with different content of SiC were deposited with r. f. magnetron sputtering followed by argon ion bombardment. These films were then permeated by hydrogen gas under the pressure of 3.23×107 Pa for 3h at 500K. AES and XPS were used to ana

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