【摘 要】
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采用丝网印刷法在95％(质量比)Al2O3基板上制备MgO薄膜,在大气环境1650℃下烧结使MgO与Al203基板反应形成(Mg0.527Al0473)(Al1758Mg0.12)O4薄膜(MAO).通过X射线衍射仪、扫描电
【机 构】
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中国工程物理研究院电子工程研究所 绵阳 621900
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采用丝网印刷法在95％(质量比)Al2O3基板上制备MgO薄膜,在大气环境1650℃下烧结使MgO与Al203基板反应形成(Mg0.527Al0473)(Al1758Mg0.12)O4薄膜(MAO).通过X射线衍射仪、扫描电子显微镜、能谱仪、X射线光电子能谱仪和激光共聚焦显微镜分别对MAO薄膜的结构、微观形貌、成分和表面粗糙度进行了表征.利用沿面耐压测试仪器对比了MAO薄膜与不同粗糙程度Al2O3基板的沿面耐压强度.研究结果表明,该方法制备了纯度较高的MAO薄膜,当沿面绝缘距离为8 mm时,排除表面粗糙度对沿面耐压性能的影响下,MAO薄膜平均沿面耐压强度相比于Al2O3基板有了较大程度提升.
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