2m光栅线纹自动测量仪

来源 :应用光学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:oyfj2009
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描述一台能够对长度达1m的线纹尺和长度达2m的光栅尺(和光栅线位移传感器)进行自动测量的激光干涉仪。干涉仪设计成双干涉光路系统,以消除光栅尺安装引入的阿贝误差。这台测量仪采用干涉条纹计数原理,对光栅尺和线纹尺的线值精度进行检测,并能对光栅信号的质量进行评价。测量过程中,对空气折射率实现了实时修正 Description A laser interferometer capable of automatically measuring line rulers up to 1 m in length and grating scales up to 2 m long (and grating line displacement sensors). The interferometer is designed as a dual interference optical system to eliminate the Abbe error introduced by the grating scale installation. This measuring instrument uses the principle of interference fringe counting to inspect the linear accuracy of grating ruler and ruler and evaluate the quality of grating signal. During the measurement, real-time correction of air refractive index was achieved
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