【摘 要】
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采用直流反应磁控溅射方法在玻璃基底上成功地淀积了ｃ轴取向性好的ＺｎＯ薄膜。经过优化计算，获得并分析了不同氧分压下制备的ＺｎＯ薄膜的折射率ｎ和消光系数ｋ的数值；同时得到了吸收谱和光学带
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采用直流反应磁控溅射方法在玻璃基底上成功地淀积了ｃ轴取向性好的ＺｎＯ薄膜。经过优化计算，获得并分析了不同氧分压下制备的ＺｎＯ薄膜的折射率ｎ和消光系数ｋ的数值；同时得到了吸收谱和光学带隙Ｅｏｐｔ，用能带模型解释了Ｅｏｐｔ的变化规律。
The ZnO film with good c-axis orientation was successfully deposited on the glass substrate by DC reactive magnetron sputtering. After optimization calculation, the values of refractive index n and extinction coefficient k of ZnO thin films prepared under different oxygen partial pressures were obtained and analyzed. The absorption spectra and optical bandgap Eopt were obtained simultaneously. The variation of Eopt was explained by the energy band model.
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