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Simulation of Capacitively Coupled Dual-Frequency N2, O2, N2/O2Discharges: Effects of External Param
【摘 要】
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本文通过对荣华二采区10
【机 构】
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School of Physics and Optoelectronic Technology, Dalian University of Technology,Dalian 116023, Chin
【出 处】
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黑龙江科技信息
【发表日期】
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2014年4期
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