【摘 要】
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首次对As-Ge-Se三元系统和As-Ge-Se-Te四元系统的硫系系统试样进行了N^+离子注入试验,结果表明,玻璃试样的显微硬度随N^+离子注入剂量的增加而提高,并且在注入剂量达到2.5×10^16附近的数值时为最大,XPS谱结果显示
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首次对As-Ge-Se三元系统和As-Ge-Se-Te四元系统的硫系系统试样进行了N^+离子注入试验,结果表明,玻璃试样的显微硬度随N^+离子注入剂量的增加而提高,并且在注入剂量达到2.5×10^16附近的数值时为最大,XPS谱结果显示在,Ar^+离子轰击6分钟后的试样表面出现N1s的结合能峰,此外各元素的结合能峰也在N^+离子注入后发生了位移,并随Ar^+离子轰击时间向高能方向移动。
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