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本文综述了用YAG声光调Q激光对薄、厚膜电路进行微调的原理、器件和光学系统。叙述了激光调阻的优点、工艺及影响激光调阻精度的几个参数。给出了激光调阻的二个实例。
用YAG声光调Q激光进行电阻调整
【摘 要】
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本文综述了用YAG声光调Q激光对薄、厚膜电路进行微调的原理、器件和光学系统。叙述了激光调阻的优点、工艺及影响激光调阻精度的几个参数。给出了激光调阻的二个实例。
【机 构】
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上海市激光技术研究所,不详
【出 处】
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四川激光
【发表日期】
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1981年A02期
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