【摘 要】
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本文介绍了一种用固态磷扩散源作磷扩散的工艺方法与反应机理,工艺设备及扩散条件与结构参数的关系,同时实验地确定了该扩散工艺方法中磷掺杂浓度的分布情况。并说明了该磷扩
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本文介绍了一种用固态磷扩散源作磷扩散的工艺方法与反应机理,工艺设备及扩散条件与结构参数的关系,同时实验地确定了该扩散工艺方法中磷掺杂浓度的分布情况。并说明了该磷扩散方法的一个突出优点,即可以运用于泡发射极工艺。
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