【摘 要】
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本文对氦质谱检漏仪的嗅敏探枪法在大气中的分压灵敏度进行了理论计算并对加压容器上的模拟微小漏孔在大气中的泄漏情况进行了理论分析,实验证明呈准分子流状态。实测结果表
【机 构】
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兰州物理研究所,兰州物理研究所,兰州物理研究所,
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本文对氦质谱检漏仪的嗅敏探枪法在大气中的分压灵敏度进行了理论计算并对加压容器上的模拟微小漏孔在大气中的泄漏情况进行了理论分析,实验证明呈准分子流状态。实测结果表明,当使用JLH—1或HZJ—1型氦质谱漏仪探测时,其有效最小可检漏率为10~(-7)托·升/秒;如果用ZLS—23型氦质谱检漏仪,可以算出其有效最小可检漏率为10~(-9)托·升/秒。同时还实测了移动式探测速度与灵敏度的关系。指出了上述方法检验大型容器的可能性。
In this paper, the partial pressure sensitivity of the helium mass spectrometer leak detector in the atmosphere is theoretically calculated and the leakage of the simulated micro leak in the pressurized container is theoretically analyzed. It is proved by the experiment that an excimer Flow state. The results show that when using JLH-1 or HZJ-1 helium mass spectrometer leak detection, the effective minimum leak rate of 10 -7 (-7) Torr · liter / sec; if using the ZLS-23 helium mass spectrometry Leak detector, you can calculate the effective minimum leak rate of 10 ~ (-9) care liter / sec. Also measured the relationship between mobile detection speed and sensitivity. The possibility of inspecting large containers by the above method is pointed out.
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