【摘 要】
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硅烷作为一种提供硅组分的气体源,广泛应用于微电子、光电器件以及高纯度多晶硅生产,潜在应用前景更为广阔.随着硅烷应用领域的扩大,硅烷安全使用和处理已成为首要的问题.通
【机 构】
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浙江大学材料与化工学院,浙江理工大学材料工程中心
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硅烷作为一种提供硅组分的气体源,广泛应用于微电子、光电器件以及高纯度多晶硅生产,潜在应用前景更为广阔.随着硅烷应用领域的扩大,硅烷安全使用和处理已成为首要的问题.通过对硅烷着火的研究和事故分析表明,硅烷的危险特性在于它与氧反应的极强活性:自燃,着火下限低,燃烧能量大.由于硅烷的自燃特性,对它的安全防范,与一般的易燃易爆物质相比,除一些共同点之外,还有显著的不同之处.在操作中必须预防高浓度硅烷与氧接触发生自燃着火.同时还必须防止硅烷泄漏在有限的空间内与氧混合,形成不稳定爆炸性气团.笔者综合分析和研讨了硅烷着
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