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用于后端工艺中铜／低k材料金属去除的实验数值研究
【机 构】
：
PhilipsAppliedTechnologies,PhilipsSemiconductors,PME/DelftUniversityofTechnology
【出 处】
：
电子工业专用设备
【发表日期】
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2006年9期
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