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期刊论文
六氟化硫的制备方法
六氟化硫的制备方法
来源 :低温与特气 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yvedy
【摘 要】
:
本发明是关于六氟化硫(SF6)的制备方法,特别是关于容易大量生产高纯度、低成本SF6的制备方法。
【作 者】
:
佐藤公彦
后藤勋
康显澄
晋华正
【机 构】
:
不详,四川省峨嵋县739厂档案室
【出 处】
:
低温与特气
【发表日期】
:
1986年4期
【关键词】
:
制备方法
六氟化硫
大量生产
高纯度
SF6
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本发明是关于六氟化硫(SF6)的制备方法,特别是关于容易大量生产高纯度、低成本SF6的制备方法。
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