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综述了采用软化学方法制备VO2薄膜的工艺技术特点，以前驱物的划分为主线．着重探讨了前驱物的选择、氧分压和热处理温度等工艺条件对其物相结构与性能的影响，对反应热力学进行了初步的探讨．我们认为，热处理温度和气氛的调节控制是获得单一相热色VO2薄膜的技术关键．
软化学法制备VO2热色薄膜的研究进展
【摘 要】
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综述了采用软化学方法制备VO2薄膜的工艺技术特点，以前驱物的划分为主线．着重探讨了前驱物的选择、氧分压和热处理温度等工艺条件对其物相结构与性能的影响，对反应热力学进行了
【机 构】
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中国科学院广州能源研究所,中国科学院研究生院,中国科学院可再生能源与天然气水合物重点实验室
【出 处】
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材料研究与应用
【发表日期】
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2008年4期
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