【摘 要】
：
微电子技术的不断发展,对光刻设备精度的要求越来越高,特别是在一些特殊器件的制作领域,要求基片多次曝光后必须达到较高的套刻精度.目前国内外有多种比较成熟的对准技术来满
论文部分内容阅读
微电子技术的不断发展,对光刻设备精度的要求越来越高,特别是在一些特殊器件的制作领域,要求基片多次曝光后必须达到较高的套刻精度.目前国内外有多种比较成熟的对准技术来满足这一要求,其中底面对准技术作为非常有效的一种而倍受青睐.根据底面对准曝光基本原理,论述了底面对准系统的设计与实现,分析了该系统各个功能块,并详细地介绍了图像处理技术在底面对准中的应用.实测表明,在底面对准曝光机中,该系统运行状况良好.
其他文献
校园流行啥？我说了算!你校园里正流行着什么？唱着嘹亮的自创班歌或者校歌,穿着最有标志性的校服,参与学校里独一无二的活动？是的,大家的初中生活大致相同,不过,咱伟大的哲学家莱
半导体器件与集成电路的不断小型化要求特征尺寸越来越小,极端远紫外光刻是5种下一代光刻技术候选者之一,它的目标是瞄准70纳米及70纳米以下的特征尺寸光刻.本文从极端远紫外
该文阐述地质灾害信息处理与决策支持系统的总体结构与功能结构,并探讨软件系统的开发思路。从地质灾害数据信息管理与维护、时空分析模型、区划分析模型等三方面详细地介绍了系统的设计思路和主要功能。
那是属于谁的梦。叶落一人独自漫步在铺满落叶的山丘上，茫然地望着前方。
分析山东 90年代产业结构变动趋向的时空差异 ,探讨产业结构变动的原因及地区产业结构变动能力 ,并对山东产业结构走向及产业结构在地区间的协调发展提出建议。
主要介绍静电感应晶体管、电荷调制器件、体电荷调制器件、基极存储图象传感器、增强ＭＯＳ图象、ＣＭＯＳ等有源象素图像传感器的新进展。
介绍了光电技术在雷达系统中的应用原理，并且根据应用情况，提出了部分解决方案。
“小资小清新總会想到两件事情，一是西藏朝圣，一是咖啡馆读书；小资小清新總会想到两个旅游景点，一个丽江，一个凤凰。小资小清新總会去两个国家，一个尼泊尔，一个越南。除了这些，小清新还能想到其他的吗？”进入初中，我们又陷入忙乱的学习生活，这种情况下，我们选择“小清新”的文艺形式，希望从中找到休息的时间、让自己放松的方式。因为与“混乱”、“浑浊”对应的，正是“清新”。 【旅行地点别出心裁】 如果逢节假
该文提出了AM/FM/GIS中基于"设备树"的设备设施管理模式,运用"设备树"来组织路灯电力网络中的设备设施对象;阐述了如何从设备设施的物理模型抽象出具有树状层次结构的逻辑网络模型,并根据该逻辑模型设计相应的数据结构来构建"设备树";并介绍了设备树在南京市路灯AM/FM/GIS系统中的设计与实现。
对于GaAs MESFET和以GaAs或InP为衬底的PHEMT的欧姆接触制备,虽均采用Au-Ge-Ni系统,但其合金条件却因材料特性各异而不同.